LÁMPARAS DE LUZ ULTRAVIOLETA EN MICROELECTRÓNICA PARTE 2
Tomado de Water Online
Los compuestos orgánicos son polares y se
ionizan débilmente en agua ultrapura. Esto
representan un gran reto para las resinas de intercambio iónico. Para evitar
fugas de carbono orgánico total (COT) de los desionizadores de pulido, se
suelen monitorear los niveles de sílice o boro para determinar cuándo se deben
regenerar.
Nuestras unidades de reducción de TOC
complementan las resinas depuradoras de compuestos orgánicos del circuito de
pulido, oxidando los compuestos orgánicos traza en radicales libres (R-OH-) y
dióxido de carbono, que se eliminan con mayor facilidad mediante resinas de
intercambio iónico o desgasificadores.
Si el ozono continuo es un requisito del
proceso, nuestros sistemas UV pueden utilizarse para proteger tanto el producto
como los costosos equipos de fabricación microelectrónica mediante la
disociación del ozono en oxígeno disuelto. Si el oxígeno disuelto (OD) es un
problema, nuestros ingenieros también pueden brindar asistencia para reducirlo
o eliminarlo.
Por estas razones, más fabricantes en el
mundo confían en Aquafine para soluciones UV, asesoría y soporte técnico.
Aplicaciones UtraVioleta en microelectrónica
Reducción de TOC
La tecnología UV permite reducir eficazmente
el carbono orgánico total (TOC) mediante lámparas de 185 nm, colocadas
estratégicamente. El proceso genera dióxido de carbono como subproducto, lo que
reduce la resistividad del agua.
Mientras que la mayoría de las moléculas
orgánicas se oxidan a dióxido de carbono y moléculas de agua, otras especies
más resistentes se ionizan o cargan débilmente tras absorber la radiación UV.
Por ello, los lechos de desionización (DI) de pulido se suelen colocar aguas
abajo de las unidades de reducción de TOC, de modo que no solo eliminen los
compuestos orgánicos cargados/ionizados, sino que también restauren la
resistividad del agua.
¡¡Importante!!
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